利用區熔單晶爐進行以下操作：

1.清爐、裝爐;

2.抽空、充氣、預熱;

3.化料、引晶;

4.生長細頸;

5.擴肩及氮氣的充入;

6.轉肩、保持及夾持器釋放;

7.收尾、停爐清爐、裝爐：

(1)清洗整個爐室內壁及加熱線圈、反射器、晶體夾持器、上軸、下軸，調整加熱線圈和反射器的水平及與上軸、下軸的對中;將多晶料夾具固定到多晶料尾部的刻槽處，然后將其安裝到上軸末端，進行多晶料的對中;將籽晶裝入籽晶夾頭上，然后將其安裝到下軸頂端;關閉各個爐門，擰緊各緊固螺栓;

(2)抽空、充氣，預熱：打開真空泵及抽氣管道閥門，對爐室進行抽真空，真空度達到所要求值時，關閉抽氣管道閥門及真空泵，向爐膛內快速充入氬氣;當充氣壓力達到相對壓力1bar-6bar時，停止快速充氣，改用慢速充氣，同時打開排氣閥門進行流氬;充氣完畢后，對多晶硅棒料進行預熱，預熱使用石墨預熱環，使用電流檔，預熱設定點25-40%，預熱時間為10-20分鐘;

(3)化料、引晶：預熱結束后，進行化料，化料時轉入電壓檔，發生器設定點在40-60%;多晶料熔化后，將籽晶與熔硅進行熔接，熔接后對熔區進行整形，引晶;

(4)生長細頸：引晶結束后，進行細頸的生長，細頸的直徑在2-6mm，長度在30-60mm;

(5)擴肩及氮氣的充入：細頸生長結束后，進行擴肩，緩慢減少下速至3±2mm/min，同時隨著擴肩直徑的增大不斷減少下轉至8±4rpm，另外還要緩慢減小上轉至1±0.5rpm;為了防止高壓電離，在氬氣保護氣氛中充入一定比例的氮氣，氮氣的摻入比例相對于氬氣的0.01%-5%;

(6)轉肩、保持及夾持器釋放：在擴肩直徑與單晶保持直徑相差3-20mm時，擴肩的速度要放慢一些，進行轉肩，直至達到所需直徑，單晶保持，等徑保持直徑在75mm-220mm，單晶生長速度1mm/分-5mm/分，在擴肩過程中，當單晶的肩部單晶夾持器的銷子的距離小于2mm時釋放夾持器，將單晶夾住;

(7)收尾、停爐：當單晶拉至尾部，開始進行收尾，收尾到單晶的直徑達到Φ10-80mm，將熔區拉開，這時使下軸繼續向下運動，上軸改向上運動，同時功率保持在40±10%，對晶體進行緩慢降溫。

篇2:單晶硅拉制工安全操作規程

1.檢查好晶軸、坩禍軸的旋轉、升降是否靈活均勻。如果過緊時調節爐膛上的密封圈,緊固到不漏氣為準。若擰時不漏氣但旋轉升降不靈活均勻,則要更換密封圈。

2.真空泵運轉的方向應按規定的方向旋轉,否則可能引起機械泵油倒灌到擴散泵中去。若真空泵電動機電源線有松掉或斷落現象時,應將真空泵和擴散泵連接的塑料管拉掉,調整電動機旋轉方向。

3.使用擴散泵必須避免油的氧化。

4.封爐時須檢查爐門橡皮是否有油污物,是否能起密封作用,同時檢查爐膛內有沒有多余物件。

5.增溫前要開冷卻水,并檢查水是否暢流,以防燒壞設備。

6.運動部件如導軌、絲杠等經常要擦洗、潤滑。籽晶軸和坩鍋要經常用紗布酒精或甲苯擦干凈。采用水冷卻要防止漏水生銹。

7.爐膛內要保持光亮清潔。,工作之后應及時清除氧化物,爐膛應常關閉。爐子不工作時,必須保持真空度,以使石墨件不受潮濕且能延長擴散泵使用壽命。

8.密封圈和橡皮墊,切忌用油和酒精之類擦拭,也不得壓得過緊。

9.先開主機箱風扇電動機使風扇轉動,風向向上,說明相序正確。再打開“增熱”按鈕。若發現相序不對,風扇不轉,應立即停止增熱排除故障。

10.首先將細調調至中間位置進行主回路送電。打開操縱臺上的總電源開關,操縱臺上各個開關與相應的部分應正常工作。總勵磁有指示才能開直流電動機(籽晶、坩堝、軸)。

11.主機箱中因有鼓風機振動,每隔一段時間應打開箱子檢查各螺釘是否有松動現象,如有松動應立即擰緊。

12.操縱臺的邊線有其相位關系,操縱臺與回路之間也有同位關系,一經調好之后,就不要再動。檢查修理時若要拆線必須做好標志,以免搞錯。

13.用化學方法腐蝕已清洗完畢的多晶硅(回爐多晶)后,要每塊仔細地檢查有無氧化物,若有蝕渣氧化物須重新腐蝕。

14.裝料時必須檢查石英坩堝有無裂紋,有無白點和氣泡,裝料要裝穩。

15.籽晶必須裝牢,也不得裝歪(偏離軸心線不大于3℃)。

16.裝爐時必須檢查爐內石墨件有無裂紋、氧化層和短路現象,增熱器和電極是否接觸良好。同時熱部件要裝得正,爐子漏氣時不準熔硅。

17.摻雜時一定要把籽晶提高,置于摻雜勺上方。

18.拉晶中途出了事故被迫停爐時,應把石墨托升到最高位置。

19.不同廠、不同爐次多晶柱制高阻單晶時,每爐多晶柱應分開使用,以利拉制高低阻單晶。

20.真空復合計的指示必須大于0.133帕(0.001毫米汞柱)以上才能開硅管增熱器進行測量,真空度要大于0.0133帕(0.0001毫米汞柱)才能進行除氣,除氣不能超過5分鐘。

21.用自來水冷卻時先打開7號水龍頭(注:水龍頭編號系根據設備具體情況確定),再打開4號水龍頭,最后開房內的總龍頭(在開自來水之前要把調壓開關關緊。6號水龍頭也要關好),即可使用。

22.用水泵時需看7號水龍頭的流量,流量過大將調壓開關開大,過小將調壓開關關小,否則壓力過大會損壞設備。

23.若水槽水溫升高而自來水壓力不夠則按以下程序操作:

(1)將5號水龍頭打開,

(2)將7號水龍頭打開,爐內熱水從地流出。

24.若發現外壓升高,應將房內總水龍頭關掉,然后關水泵。當爐子處在增熱狀態時應按第22條使用。

25.裝好爐以后用電表測量電極與坩鍋軸是否短路,若有短路應立即排除。

——摘自《機械工人安全技術操作規程》