鍍膜機(jī)安全技術(shù)操作規(guī)程
一、目的
消除一切使設(shè)備遭到損壞、使人身健康與安全受到威脅、使環(huán)境遭到污染的因素或現(xiàn)象,避免設(shè)備事故的發(fā)生,實(shí)現(xiàn)安全正常生產(chǎn)。
二、適用范圍
本公司鍍膜機(jī)的安全生產(chǎn)管理的全過(guò)程。
三、安全操作規(guī)程
1、開(kāi)機(jī)前先檢查各真空泵的油位高度,如有不足要補(bǔ)充后再開(kāi)機(jī)。
2、開(kāi)高閥前必須對(duì)濺射室抽低真空,待壓力達(dá)到5Pa時(shí),方可打開(kāi)高閥,不允許直接用擴(kuò)散泵抽高于5Pa壓力的濺射室。
3、操作或維修高閥時(shí),閥兩側(cè)壓力基本一致時(shí)才能開(kāi)高閥。
4、對(duì)濺射室充氣前,應(yīng)首先切斷真空計(jì)的高真空測(cè)量,以免損壞電離規(guī)管。
5、設(shè)備使用中途停水時(shí),應(yīng)立即切斷擴(kuò)散泵和濺射電源。
6、設(shè)備使用中途停電時(shí),應(yīng)將真空計(jì)的電離規(guī)管關(guān)閉,關(guān)壓電閥,關(guān)“充氣閥”,關(guān)濺射電源,關(guān)工件旋轉(zhuǎn)和烘烤電源等,待來(lái)電后重新啟動(dòng)。
7、應(yīng)根椐使用情況定期觀察弧靶腐蝕溝道的情況及時(shí)更換新靶材。
8、拆裝弧靶時(shí),應(yīng)先關(guān)閉冷卻水,拆下水管,用壓縮空氣吹凈靶體內(nèi)的水,防止水滴在濺射室內(nèi);并且不能損傷靶體,尤其是密封面。
9、更換靶材時(shí),不能損壞密封表面、靶陰極體及靶零件,必須清除油污及汗?jié)n。
10、開(kāi)啟濺射室蓋時(shí),室內(nèi)應(yīng)處于常壓,決不允許真空室處于真空狀態(tài)時(shí)開(kāi)啟室蓋。
11、操作人員必須嚴(yán)格按設(shè)備操作指導(dǎo)書(shū)和安全操作規(guī)程進(jìn)行作業(yè),注意設(shè)備本身及設(shè)備運(yùn)行中的安全,特別要重視安全裝置的檢查與使用。
篇2:真空鍍膜機(jī)安全規(guī)定
真空鍍膜設(shè)備是電阻加熱式蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備。操作人員必須詳細(xì)閱讀該機(jī)說(shuō)明書(shū),了解設(shè)備結(jié)構(gòu)、工作原理、操作程序并由專(zhuān)業(yè)人員指導(dǎo)培訓(xùn),熟練掌握各操作要領(lǐng)。經(jīng)有關(guān)專(zhuān)業(yè)人員確認(rèn)符合操作規(guī)范,方能獨(dú)立上崗操作。
一、該機(jī)開(kāi)機(jī)前應(yīng)先檢查電控柜的接線(xiàn)是否有松脫現(xiàn)象,接上電源,并檢查真空室內(nèi)電極絕緣性,鎢絲接觸是否可靠,工件架轉(zhuǎn)動(dòng)是否自如。聯(lián)軸器,輸入電極接觸是否良好,各密封處特別是動(dòng)密封處是否良好。還需檢查擴(kuò)散泵、旋片泵、羅茨泵、滑閥泵等的油量是否滿(mǎn)足要求。提供的電源、氣源,各種機(jī)械泵轉(zhuǎn)向都應(yīng)正確。注意:試驗(yàn)羅茨泵轉(zhuǎn)向一定要在真空狀態(tài)下進(jìn)行。
經(jīng)過(guò)上述檢查,各項(xiàng)性能良好,才能進(jìn)行抽氣試機(jī)。如果鍍膜室長(zhǎng)期暴露大氣,還必須進(jìn)行“煉氣”,就是按照操作規(guī)程,不進(jìn)行鍍膜,只讓機(jī)械泵、擴(kuò)散泵等連續(xù)抽氣,察看真空度上升的穩(wěn)定情況,若真空度保持穩(wěn)定,才能進(jìn)行下一步操作。一般“煉氣”時(shí)間要達(dá)10小時(shí)以上。調(diào)試時(shí)主要檢查:
1.真空檢漏2.檢查極限壓強(qiáng)3.抽氣時(shí)間
二、滿(mǎn)足以上各項(xiàng)檢查后,進(jìn)入操作和使用:
1.在非特殊情況下,請(qǐng)勿以斷拉閘(斷電)方式停機(jī)。
2.本設(shè)備通電及運(yùn)行過(guò)程中,請(qǐng)勿觸摸電氣控制柜內(nèi)部和外部用電器件,注意安全。
3.確認(rèn)安全無(wú)誤時(shí)才能操作設(shè)備。
4.不要將設(shè)備交給非本設(shè)備操作人員操作。
5.設(shè)備及電源控制柜必須良好接地。
6.非專(zhuān)業(yè)人員請(qǐng)不要維修本設(shè)備。
三、工作中還必須注意以下幾點(diǎn):
1.平時(shí),整個(gè)系統(tǒng)要保持真空狀態(tài),工作前才充入氣體,不要使真空室長(zhǎng)期暴露在大氣中;
2.真空室鍍膜200-250次后,要清洗真空室和工作支撐架;
3.經(jīng)常檢查膠封是否良好,特別是動(dòng)密封圈,定期給動(dòng)密封圈加上真空脂;
4.定期檢查電氣元件,清除灰塵,更換燒壞的電器元件;
5.在真空狀態(tài)下不得拆卸擴(kuò)散泵和閥門(mén);
6.羅茨泵、粗抽泵、維持泵要定期加油,換油(保持油面在油鏡中心為佳);
7.充氣閥門(mén)充氣動(dòng)作失靈時(shí),必須進(jìn)行檢修;
8.鍍膜完畢時(shí)先關(guān)閉真空測(cè)量計(jì),再關(guān)閉精抽、前置閥,待精抽閥、前置閥完全關(guān)閉后才能充入大氣,否則會(huì)燒壞電離規(guī)管,氧化擴(kuò)散泵油及發(fā)生不必要的以外;
9.鍍膜機(jī)在工作過(guò)程中,不得斷水,若在工作過(guò)程中突然停電,應(yīng)馬上關(guān)閉精抽閥門(mén),減少因系統(tǒng)漏氣泵油的氧化;
10.關(guān)羅茨泵后一定要經(jīng)過(guò)1分鐘后才能關(guān)粗抽泵,否則會(huì)因?yàn)榱_茨泵在轉(zhuǎn)速較高時(shí)充入氣體,會(huì)損壞羅茨泵。
篇3:鍍膜機(jī)安全技術(shù)操作規(guī)程
一、目的
消除一切使設(shè)備遭到損壞、使人身健康與安全受到威脅、使環(huán)境遭到污染的因素或現(xiàn)象,避免設(shè)備事故的發(fā)生,實(shí)現(xiàn)安全正常生產(chǎn)。
二、適用范圍
本公司鍍膜機(jī)的安全生產(chǎn)管理的全過(guò)程。
三、安全操作規(guī)程
1、開(kāi)機(jī)前先檢查各真空泵的油位高度,如有不足要補(bǔ)充后再開(kāi)機(jī)。
2、開(kāi)高閥前必須對(duì)濺射室抽低真空,待壓力達(dá)到5Pa時(shí),方可打開(kāi)高閥,不允許直接用擴(kuò)散泵抽高于5Pa壓力的濺射室。
3、操作或維修高閥時(shí),閥兩側(cè)壓力基本一致時(shí)才能開(kāi)高閥。
4、對(duì)濺射室充氣前,應(yīng)首先切斷真空計(jì)的高真空測(cè)量,以免損壞電離規(guī)管。
5、設(shè)備使用中途停水時(shí),應(yīng)立即切斷擴(kuò)散泵和濺射電源。
6、設(shè)備使用中途停電時(shí),應(yīng)將真空計(jì)的電離規(guī)管關(guān)閉,關(guān)壓電閥,關(guān)“充氣閥”,關(guān)濺射電源,關(guān)工件旋轉(zhuǎn)和烘烤電源等,待來(lái)電后重新啟動(dòng)。
7、應(yīng)根椐使用情況定期觀察弧靶腐蝕溝道的情況及時(shí)更換新靶材。
8、拆裝弧靶時(shí),應(yīng)先關(guān)閉冷卻水,拆下水管,用壓縮空氣吹凈靶體內(nèi)的水,防止水滴在濺射室內(nèi);并且不能損傷靶體,尤其是密封面。
9、更換靶材時(shí),不能損壞密封表面、靶陰極體及靶零件,必須清除油污及汗?jié)n。
10、開(kāi)啟濺射室蓋時(shí),室內(nèi)應(yīng)處于常壓,決不允許真空室處于真空狀態(tài)時(shí)開(kāi)啟室蓋。
11、操作人員必須嚴(yán)格按設(shè)備操作指導(dǎo)書(shū)和安全操作規(guī)程進(jìn)行作業(yè),注意設(shè)備本身及設(shè)備運(yùn)行中的安全,特別要重視安全裝置的檢查與使用。