立式爐安全操作規(guī)程
1.目的
為DJ-802V型LPCVD立式爐的開關(guān)機(jī)安全操作以及設(shè)備緊急避險(xiǎn)提供指導(dǎo)。
2.范圍:
本規(guī)程適用于DJ-802V型LPCVD立式爐安全技術(shù)操作。
3.參考
《設(shè)備安全使用管理制度》
4.職責(zé)
4.1.設(shè)備工程師負(fù)責(zé)設(shè)備的正常開、關(guān)機(jī)操作的培訓(xùn)和指導(dǎo);
4.2.擴(kuò)散操作者以及設(shè)備工程師等相關(guān)人員可執(zhí)行設(shè)備的緊急避險(xiǎn)程序。
5.開機(jī)前確認(rèn)
5.1.開機(jī)前確認(rèn)住控制器開關(guān)、傳片單元開關(guān)、顯示器開關(guān)、爐體加熱開關(guān)、控制器電源開關(guān)、DN-130P極限溫度控制器電源開關(guān)、FFU電源開關(guān)、照明燈電源開關(guān)都在“OFF”位置;若不在,則將開關(guān)調(diào)整至“OFF”位置。
圖片
5.2.開機(jī)前動(dòng)力條件確認(rèn):打開閥門后觀察氮?dú)鈮毫Α⒐柰閴毫Α⒍榷涔鑹毫Α⑿鈮毫Α睔鈮毫Α嚎s空氣壓力、冷卻水壓力均在壓力表綠色區(qū)間內(nèi)。氣體壓力,SiH4:2±1kg/cm2,SiH2CL2:0.7±0.1kg/cm2,N20:2±1kg/cm2,氨氣:2±1kg/cm2,N2:2±1kg/cm2,壓空:5±1kg/cm2。冷卻水流量,正常值為500±10cc/min。
圖片
5.3.LPCVD的真空泵氮?dú)鈮毫屠鋮s水壓力都在額定值范圍內(nèi)。(能通過真空泵控制面板的自檢)/
6.操作順序
6.1.打開120V、280V電源開關(guān)
6.2.依次打開控制器電源開關(guān)、DN-130P極限溫度控制器電源開關(guān)、FFU電源開關(guān)、照明燈電源開關(guān)、主控制器開關(guān)、傳送單元開關(guān)、顯示器開關(guān)、爐體加熱開關(guān)。
6.3.顯示器上提示“BACKUPMEMORYINITIALIZEOK”按F1鍵確認(rèn)。
6.4.真空系統(tǒng)建立
6.4.1.確認(rèn)各閥門動(dòng)作正常且大閥處于關(guān)閉狀態(tài)(閥控制面板上V71閥LED燈不亮,即大閥關(guān)閉);
6.4.2.按真空泵控制面板上的“START”鍵;
6.4.3.檢查真空壓力表讀數(shù)是否在紅色箭頭指定的0.2Pa位置;
6.4.4.撿漏時(shí)先開慢抽(V72閥),當(dāng)真空計(jì)讀數(shù)為100Pa以下時(shí)再打開快抽(V71閥);
6.4.5.當(dāng)真空閥路控制器轉(zhuǎn)換到MANUAL狀態(tài),打開V5,V8閥,按“SET”鍵確認(rèn),當(dāng)容壓計(jì)和真空計(jì)的讀數(shù)均為零的時(shí)候,關(guān)閉V71閥,計(jì)時(shí)3分鐘,漏率不超過2Pa/min。
6.4.6.通過漏率測(cè)試,慢回填氮?dú)?0.5slm)10分鐘,再快回填氮?dú)?2slm)15分鐘。
6.4.7.將爐門落下,待機(jī)做片。
7.關(guān)機(jī)程序
7.1.程序結(jié)束后依次關(guān)閉加熱開關(guān),觀察DN-130P極限溫度控制器顯示溫度降至50攝氏度以下,關(guān)閉主控制器開關(guān)、傳送單元開關(guān)、顯示器開關(guān);
7.2.關(guān)閉照明燈電源、關(guān)閉FFU電源開關(guān)、關(guān)閉DN=130P極限溫度控制器電源開關(guān)、關(guān)閉控制器電源;
7.3.關(guān)閉120Vhe208V電源開關(guān)
7.4.關(guān)閉真空泵:控制面板上的STOP鍵,關(guān)閉真空泵泵冷卻水,關(guān)閉真空泵吹掃氮?dú)?關(guān)閉真空泵本電源開關(guān)
7.5.關(guān)閉冷卻水,氮?dú)?壓縮空氣閥門。
8.注意事項(xiàng):
本LPCVD立式爐是集高溫、高壓、特氣于一體的工藝設(shè)備,為了保證人身和設(shè)備安全,所有人員必須嚴(yán)格遵守下列條款:
8.1.電器安全
8.1.1.不能去掉所有連鎖;
8.1.2.爐體電源打開后,嚴(yán)禁打開爐體腔門,需要處理爐體端子時(shí),必須先把高壓斷開,進(jìn)行這些操作時(shí),必須兩人在場(chǎng);
8.2.特氣安全
8.2.1.本設(shè)備使用硅烷作為工藝氣體,該氣體遇空氣極易燃且有毒,燃燒后產(chǎn)生白色粉末,對(duì)凈化環(huán)境產(chǎn)生影響。
8.2.2.未經(jīng)允許,不準(zhǔn)打開或者關(guān)閉硅烷閥門,停送氣需要提前申請(qǐng);
8.2.3.硅烷氣體管路系統(tǒng)必須氣密性良好,一旦發(fā)現(xiàn)氣體泄漏,立即執(zhí)行硅烷泄露緊急避險(xiǎn),進(jìn)行相關(guān)處理。
8.2.4.氨氣,二氯二氫硅具有腐蝕性的特氣,操作者按照日常點(diǎn)檢要求進(jìn)行檢查。
8.3.高溫安全
8.3.1.出入舟時(shí)禁止打開傳送腔室前后門,防止?fàn)t門打開時(shí)受到熱輻射。
8.3.2.必須待降至室溫且切斷加熱器斷路器的條件下進(jìn)行爐體加熱器部分的保養(yǎng),維修。
8.4.其它:
8.4.1.執(zhí)行正常關(guān)機(jī)程序時(shí)不允許直接按紅色的“EMERGENCY”按鈕進(jìn)行急停操作;
8.4.2.如遇特氣泄漏,火災(zāi)等緊急情況時(shí)可以按紅色的“EMERGENCY”按鈕。
篇2:立式爐安全操作規(guī)程
1.目的
為DJ-802V型LPCVD立式爐的開關(guān)機(jī)安全操作以及設(shè)備緊急避險(xiǎn)提供指導(dǎo)。
2.范圍:
本規(guī)程適用于DJ-802V型LPCVD立式爐安全技術(shù)操作。
3.參考
《設(shè)備安全使用管理制度》
4.職責(zé)
4.1.設(shè)備工程師負(fù)責(zé)設(shè)備的正常開、關(guān)機(jī)操作的培訓(xùn)和指導(dǎo);
4.2.擴(kuò)散操作者以及設(shè)備工程師等相關(guān)人員可執(zhí)行設(shè)備的緊急避險(xiǎn)程序。
5.開機(jī)前確認(rèn)
5.1.開機(jī)前確認(rèn)住控制器開關(guān)、傳片單元開關(guān)、顯示器開關(guān)、爐體加熱開關(guān)、控制器電源開關(guān)、DN-130P極限溫度控制器電源開關(guān)、FFU電源開關(guān)、照明燈電源開關(guān)都在“OFF”位置;若不在,則將開關(guān)調(diào)整至“OFF”位置。
圖片
5.2.開機(jī)前動(dòng)力條件確認(rèn):打開閥門后觀察氮?dú)鈮毫Α⒐柰閴毫Α⒍榷涔鑹毫Α⑿鈮毫Α睔鈮毫Α嚎s空氣壓力、冷卻水壓力均在壓力表綠色區(qū)間內(nèi)。氣體壓力,SiH4:2±1kg/cm2,SiH2CL2:0.7±0.1kg/cm2,N20:2±1kg/cm2,氨氣:2±1kg/cm2,N2:2±1kg/cm2,壓空:5±1kg/cm2。冷卻水流量,正常值為500±10cc/min。
圖片
5.3.LPCVD的真空泵氮?dú)鈮毫屠鋮s水壓力都在額定值范圍內(nèi)。(能通過真空泵控制面板的自檢)/
6.操作順序
6.1.打開120V、280V電源開關(guān)
6.2.依次打開控制器電源開關(guān)、DN-130P極限溫度控制器電源開關(guān)、FFU電源開關(guān)、照明燈電源開關(guān)、主控制器開關(guān)、傳送單元開關(guān)、顯示器開關(guān)、爐體加熱開關(guān)。
6.3.顯示器上提示“BACKUPMEMORYINITIALIZEOK”按F1鍵確認(rèn)。
6.4.真空系統(tǒng)建立
6.4.1.確認(rèn)各閥門動(dòng)作正常且大閥處于關(guān)閉狀態(tài)(閥控制面板上V71閥LED燈不亮,即大閥關(guān)閉);
6.4.2.按真空泵控制面板上的“START”鍵;
6.4.3.檢查真空壓力表讀數(shù)是否在紅色箭頭指定的0.2Pa位置;
6.4.4.撿漏時(shí)先開慢抽(V72閥),當(dāng)真空計(jì)讀數(shù)為100Pa以下時(shí)再打開快抽(V71閥);
6.4.5.當(dāng)真空閥路控制器轉(zhuǎn)換到MANUAL狀態(tài),打開V5,V8閥,按“SET”鍵確認(rèn),當(dāng)容壓計(jì)和真空計(jì)的讀數(shù)均為零的時(shí)候,關(guān)閉V71閥,計(jì)時(shí)3分鐘,漏率不超過2Pa/min。
6.4.6.通過漏率測(cè)試,慢回填氮?dú)?0.5slm)10分鐘,再快回填氮?dú)?2slm)15分鐘。
6.4.7.將爐門落下,待機(jī)做片。
7.關(guān)機(jī)程序
7.1.程序結(jié)束后依次關(guān)閉加熱開關(guān),觀察DN-130P極限溫度控制器顯示溫度降至50攝氏度以下,關(guān)閉主控制器開關(guān)、傳送單元開關(guān)、顯示器開關(guān);
7.2.關(guān)閉照明燈電源、關(guān)閉FFU電源開關(guān)、關(guān)閉DN=130P極限溫度控制器電源開關(guān)、關(guān)閉控制器電源;
7.3.關(guān)閉120Vhe208V電源開關(guān)
7.4.關(guān)閉真空泵:控制面板上的STOP鍵,關(guān)閉真空泵泵冷卻水,關(guān)閉真空泵吹掃氮?dú)?關(guān)閉真空泵本電源開關(guān)
7.5.關(guān)閉冷卻水,氮?dú)?壓縮空氣閥門。
8.注意事項(xiàng):
本LPCVD立式爐是集高溫、高壓、特氣于一體的工藝設(shè)備,為了保證人身和設(shè)備安全,所有人員必須嚴(yán)格遵守下列條款:
8.1.電器安全
8.1.1.不能去掉所有連鎖;
8.1.2.爐體電源打開后,嚴(yán)禁打開爐體腔門,需要處理爐體端子時(shí),必須先把高壓斷開,進(jìn)行這些操作時(shí),必須兩人在場(chǎng);
8.2.特氣安全
8.2.1.本設(shè)備使用硅烷作為工藝氣體,該氣體遇空氣極易燃且有毒,燃燒后產(chǎn)生白色粉末,對(duì)凈化環(huán)境產(chǎn)生影響。
8.2.2.未經(jīng)允許,不準(zhǔn)打開或者關(guān)閉硅烷閥門,停送氣需要提前申請(qǐng);
8.2.3.硅烷氣體管路系統(tǒng)必須氣密性良好,一旦發(fā)現(xiàn)氣體泄漏,立即執(zhí)行硅烷泄露緊急避險(xiǎn),進(jìn)行相關(guān)處理。
8.2.4.氨氣,二氯二氫硅具有腐蝕性的特氣,操作者按照日常點(diǎn)檢要求進(jìn)行檢查。
8.3.高溫安全
8.3.1.出入舟時(shí)禁止打開傳送腔室前后門,防止?fàn)t門打開時(shí)受到熱輻射。
8.3.2.必須待降至室溫且切斷加熱器斷路器的條件下進(jìn)行爐體加熱器部分的保養(yǎng),維修。
8.4.其它:
8.4.1.執(zhí)行正常關(guān)機(jī)程序時(shí)不允許直接按紅色的“EMERGENCY”按鈕進(jìn)行急停操作;
8.4.2.如遇特氣泄漏,火災(zāi)等緊急情況時(shí)可以按紅色的“EMERGENCY”按鈕。
篇3:幼兒園安全檢查工作制度
幼兒園安全檢查工作制度
抓好幼兒園的安全工作，重在落實(shí)。為了切實(shí)落實(shí)我園的安全責(zé)任制，健全園內(nèi)部安全管理工作制度，保證幼兒園安全工作的順利開展，特制定了安全檢查工作制度：
一、成立安全檢查領(lǐng)導(dǎo)小組
我園成立了以園長(zhǎng)為組長(zhǎng)，以分管領(lǐng)導(dǎo)為副組長(zhǎng)，以各教研組長(zhǎng)、保育成員、門衛(wèi)為組員的幼兒園安全檢查領(lǐng)導(dǎo)小組，負(fù)責(zé)對(duì)全園安全工作檢查，確保我園的安全工作做好。
二、職責(zé)明確，切實(shí)做好安全檢查記錄
(一)、校園安全檢查
1、校園安全檢查負(fù)責(zé)人為值周行政，(具體見每學(xué)期的值周行政安排表)。
2、值周行政每天上午8時(shí)前對(duì)校園內(nèi)的安全設(shè)施以及校舍進(jìn)行一次檢查，把檢查情況填入值周行政安排表。
3、發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)報(bào)告安全責(zé)任人并協(xié)助盡快解決問題。
4、主管安全行政每周對(duì)校園安全進(jìn)行一次抽查，對(duì)抽查情況作記錄。
(二)、班級(jí)、辦公室安全檢查
1、各班主任老師負(fù)責(zé)每天檢查班級(jí)的安全情況(電源插座;剪刀等尖、硬物體的使用情況;環(huán)境安全隱患等)。
2、保育員負(fù)責(zé)檢查班級(jí)的衛(wèi)生、午睡室的安全衛(wèi)生。
3、各辦公室負(fù)責(zé)人定期檢查辦公區(qū)域的安全情況，有問題及時(shí)上報(bào)，并做好記錄。
(三)、門衛(wèi)安全檢查
1、幼兒園門衛(wèi)松江新城社區(qū)四保公益服務(wù)社提供，安排四人24小時(shí)值班。
2、幼兒園門衛(wèi)嚴(yán)格按照要求對(duì)外來人員進(jìn)行來訪登記，嚴(yán)禁外來車輛放入園內(nèi)。
3、幼兒園來園、離園時(shí)段，做好大門口幼兒家長(zhǎng)接送車輛的引導(dǎo)，防止因擁擠而造成意外傷害。
4、門衛(wèi)每天對(duì)檢查的情況記入《安全檢查表》中，并簽名，幼兒園行政對(duì)檢查情況不定時(shí)的抽查。
(四)食堂食品衛(wèi)生安全檢查
1、食堂食品衛(wèi)生安全檢查由保健老師、營(yíng)養(yǎng)員負(fù)責(zé)。
2、保健老師每天對(duì)食堂衛(wèi)生進(jìn)行一次檢查，發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)糾正，情況嚴(yán)重要及時(shí)上報(bào)園值班行政。
3、保健老師、營(yíng)養(yǎng)員嚴(yán)格把好食品的進(jìn)貨關(guān)，每天食品要留樣，以待抽查。
三、及時(shí)整改，確保安全安全檢查小組每月進(jìn)行一次全園性的安全普查，同時(shí)有園分管領(lǐng)導(dǎo)等作不定期檢查。對(duì)檢查中發(fā)現(xiàn)的問題及時(shí)提出整改措施，并督促立刻解決。
四、建立定期匯報(bào)制度各負(fù)責(zé)人對(duì)自己所負(fù)責(zé)范圍的安全工作定期向園領(lǐng)導(dǎo)小組匯報(bào)，同時(shí)發(fā)動(dòng)全園每位教職工的主人翁意識(shí)，關(guān)心幼兒園的安全，發(fā)現(xiàn)隱患及時(shí)匯報(bào)。
五、開發(fā)家長(zhǎng)資源，接受各方監(jiān)督檢查是為了更好地開展工作，各負(fù)責(zé)人不得弄虛作假，要如實(shí)匯報(bào)工作，接受領(lǐng)導(dǎo)的檢查。同時(shí)發(fā)動(dòng)家長(zhǎng)資源，關(guān)心幼兒園，監(jiān)督幼兒園的衛(wèi)生安全工作。