摘要

半導體業對臺灣整體市場影響力非常大,集成電路制造過程使用非常多化學

品及有害氣體,主要設備單位包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、DryEtch、

WetEtch、Photo。為了讓工安人員、設備人員能夠充分的了解在FAB內所處之

工作環境及在工作時需特別注意之安全事項,茲將設備人員所負責之機臺及該注

意之安全事項,加以匯整說明,以確實加強改善半導體廠設備工程師人員之安

全,避免人員意外事件發生。

一、工作安全之基本觀念

一般工作現場中主要安全基本觀念包括以下數點:

(一)安全是工作的一部份,我們有義務要把安全做好。

(二)依據國際安全評分系統(ISRS)所統計之意外事故比率:

每600件虛驚事故,就會伴隨30件財物損失之事故,并產生10件輕

微傷害事故,最后可能產生1件嚴重傷害事故。

(三)任何意外事故發生,均是由日常工作中不安全的行為或不安全的環境所造

成。

(四)落實安全管理是主管的必修課程,不是在事后補救;預防勝于治療。

(五)只要是涉及安全,你唯一能相信的是你自己,你必須有百分之百的把握,

你所做的任何行為或動作沒有任何安全顧慮。所有工作人員,都必須有預

知危險之危機意識。

(六)從事任何工作,你首先要考慮的是你自己本身的安全,再來是周遭的人身

安全,其次才是機臺與產品的安全。

(七)擔任維修及保養工作時,若你發現你不夠清楚,請立即停止進行中的工作。

(八)凡事務必遵守標準程序(SOP、PMProcedure、TroubleShootingGuide)。

從事特定維修工作,請確實按照規定穿著標準防護用具。

二、設備人員維修/保養工作通則

半導體廠中設備人員維修、保養時易造成人員安全疑慮,因此凡于無塵室內

從事PM及維修工作時,均應遵守下列規定事項,以確保安全且整齊之高質量工

作環境。

(一)安全事項:

1、任何操作均以安全為第一考慮。

2、設備維修時,必須掛上維修中警示牌,以防止他人誤動作。

3、PM維修中,如需占用走道或掀開高架地板,工作人員必須將施工區域用圍

欄區隔,以防止危險發生;掀開高架地板作業完畢,地板蓋回后,必須確認

地板間是否平整,以維持無塵室內作業安全。

4、PM維修時,若有接觸化學品或有害氣體之虞時,必須依照標準Procedure

做好安全防護措施,以保護本身及他人之安全。

5、PM維修中如需要使用附屬設備,如工作臺車、HouseVacuum時必須擺放適

當之安全位置,以防止人員絆倒產生危險。

6、使用IPA、H2O2、DIW須用小瓶罐裝,人員離開時須放回鋼瓶座內。

7、執行維修保養工作時,務必特別注意機臺零件及工具銳角對人身可能造成之

傷害。

(二)操作整齊注意事項:

1、任何操作均應隨時保持高質量之工作環境。

2、PM維修拆下之零件,不可放置機臺或地面上,必須放置維修臺車上或指定

收納置物箱內,螺絲須放入螺絲盒內,如Parts體積龐大須暫放地面,應放

置安全,不得妨礙他人之作業安全。

3、PM維修使用之工具須擺放整齊,人員離開時必須放在工作臺車上或放回工

具箱內。

4、PM維修使用完之無塵布、棉花棒等,必須立即丟入垃圾筒及垃圾袋內,以

保持工作環境之整潔。

5、搬運物品時必須輕提輕放,不可用拖拉方式移動物品。

6、PM維修時,禁止使用貨架臺車暫放零件或運送零件,以維護貨架臺車之清

潔,PM工作臺車使用完畢,必須保持干凈清潔,放置于規定地方。

7、HouseVacuum使用完畢后,須checkhouseoutlet之銅蓋是否蓋上及密合,

使用電源插座完畢后,須check電源座是否推回地板面,蓋子是否蓋上。

8、工作中或暫時休息,皆不可坐于桌面及地板或腳踏板上。

9、工作完成后,請檢視周遭環境確保整齊清潔。

三、設備人員單位簡介及安全概述

半導體廠設備單位一般包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、DryEtch、

WetEtch、Photo,各單位之主要性質介紹如下:

(一)Diff擴散設備單位(包括KE、TEL、DNS、Applied等)

主要用到有毒、無毒之ProcessGas、water、高電壓、高電流、廢氣,Clean

機臺則使用強酸堿化學液、而有廢酸液之生成。

(二)Thin-film薄膜設備單位(包括Applied、Novellus等)

主要用到有毒、無毒之ProcessGas、water、高電壓、高電流、高頻、廢

氣。

(三)CMP研磨設備單位(包括Applied、DNS等)

主要用到強堿slurry化學液、water、而有廢堿液之生成。

(四)Vacuum真空設備單位(包括Applied、AG、Varian等)

主要用到有毒、無毒之ProcessGas、water、高電壓、高電流、高頻、廢

氣;噴砂機臺作為維修之用。

(五)Etch干蝕刻設備單位(包括Lam、TEL、Applied、PSC、Mattson機臺)

干蝕刻機臺之制程主要用到有毒特殊氣體(Cl2,Hbr,氟化物…)、無毒之氣體

(N2,Ar….)、water(冷卻循環水,去離子水….)、高電壓、高頻、高電流在真

空中反應,且在生產過程會有廢氣、輻射、廢水之生成物。

(六)Etch濕蝕刻設備單位(包括Kaijo機臺)

濕蝕刻機臺之制程主要用化學藥品,如強酸

(HF,BOE,H3PO4,H2SO4,HNO3…),強堿(ACT-690…)及DIW,Cooling

water等,在生產過程中會有廢酸液、廢水及反應生成物之產生。

(七)Photo黃光設備單位(包括ASMstepper、TELtrack、AGV及其他相關量

測或檢視機臺)

主要用到紫外線光源HMDS、thinner、光阻等有機溶劑,且有高電流、高

電壓、紫外線之應用,生產過程會有廢氣、廢液之生成。

綜合一般無塵室內常見之工業安全傷害,可分為化學性、物理性之傷害,

而傷害也分布身體之各部位。以下就將各單位較易發生及機臺維修之安全事項說

明如下:

(一)Diff擴散設備單位

1、FurnacetoolsandCVDtools

(1)機械方面:robot之夾傷、撞傷、chamber毒氣外泄、plasma輻射傷害、gate

door之夾傷,高溫燙傷。

(2)電力方面:高壓電流觸及。

(3)維修方面:身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷。

(4)保養方面:高溫爐管之燙傷、parts之割傷、化學溶劑吸入性及噴濺之傷害。

2、Wetbench安全注意事項

(1)機械方面:robot之夾傷、撞傷、挫傷。

(2)化學藥劑方面:強酸/強堿之灼燙傷、化學品之觸及、吸入性傷害。

(3)電力方面:漏電觸及。

(4)維修方面:撞傷、wafer割傷、強酸/強堿之波及。

3、Inter-baytransfersystem

(1)機械方面:R/M之夾傷、撞傷、挫傷。

(2)維修方面:高架作業之安全。

(二)Thin-film薄膜設備單位

(1)機械方面:避免撞傷、高溫燙傷、廢液桶壓傷、robot夾傷、slitvalve夾傷、

肌肉拉傷。

(2)電力方面:避免高壓電流觸及身體。

(3)維修保養方面:高溫燙傷、粉塵吸入、重物壓傷、強酸/強堿之灼傷、身

體之擦傷、撞傷、夾傷、挫傷、parts割傷、powder避免吸入體內。

(4)化學溶劑方面:強酸/強堿之波及和吸入。

(5)特殊氣體方面:防止毒氣外泄之吸入。

(三)CMP研磨設備單位

(1)機械方面:motorgear轉動時夾傷、DNSgatedoor夾傷。

(2)電力方面:高壓電流觸及。

(3)維修方面:

a.MirraCross轉動時須先確定無人。

b.robot移動時,須把door關起來,避免撞人員。

c.Wafer破片之割傷。

(4)保養方面:換Pad時須使用適當工具,避免拔Pad時工具撞到臉部。

(5)化學藥劑方面:

a.維修或養DNSTBCchamber時要先flush,并帶口罩及防酸手套,防止

HF腐蝕。

b.處理Wslueey時,須帶手套。

(四)Vacuum真空設備單位

(1)機械方面:robot之夾傷、撞傷、chamber毒氣外泄、plasma輻射傷害、slit

valve之夾傷,肌肉拉傷,高溫燙傷。

(2)電力方面:高壓電流觸及、*ray輻射、強磁場。

(3)維修方面:身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷。

(4)保養方面:高溫燙傷、parts之割傷、化學溶劑吸入性及噴濺之傷害。

(5)特殊氣體方面:防止毒氣外泄之吸入。

(五)Etch干蝕刻設備單位

(1)機械方面:機械手臂之夾傷、撞傷、chamber毒氣外泄吸入性之傷害、plasma

輻射污染傷害、gatedoor之夾傷,高溫燙傷。

(2)電力方面:高電壓、高電流之電擊傷害。

(3)維修方面:身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷。

(4)保養方面:parts之割傷、化學溶劑吸入性之傷害。

(六)濕蝕刻設備單位

(1)機械方面:機械手臂之夾傷、撞傷、挫傷。

(2)化學藥劑方面:強酸/強堿之灼燙傷、化學品之觸及、吸入性傷害。

(3)電力方面:高電壓、電流之電擊傷害。

(4)維修方面:撞傷、wafer割傷、強酸/強堿之波及。

(七)Photo黃光設備單位

(1)機械方面:robot、mailarm、AGV之撞傷,KrF、化學品外泄、inde*er之

夾傷,高溫燙傷。

(2)電力方面:高壓電流電擊。

(3)維修方面:身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、lamp、wafer之割傷、高速旋

轉物飛出、液體濺出。

(4)保養方面:紫外線、laser曝露、有機溶劑吸入、皮膚接觸。

篇2:機電科工程師特種設備節能管理崗位責任制

一、崗位責任

第1條參加機電設備檢查,并協助機電設備管理員進行設備管理。

第2條對分管業務范圍內的機電安全工作的重點進行技術把關,對機電設備的選型、進貨質量的驗收等進行技術把關。

第3條負責全礦地面所有特種設備(行車、鍋爐、電梯、場內車輛、壓力容器等)的建檔管理。

第4條負責編制地面所有特種設備、儀表的檢驗檢測計劃,并跟蹤試驗檢測,及時將試驗報告的收集整理。

第5條負責制定所有特種設備的大修計劃并監督落實實施。負責編制全礦特種設備作業人員的培訓計劃,并組織實施。

第6條負責全礦節能工作的日常管理,編制全年節能目標,制定各單位節能指標的分解并落實考核。負責收集、分析、編制全礦日、月、季、年度節能統計報表。

第7條負責機電科各種記錄、報表、報告、制度等資料的審查、收集、整理、歸檔。

第8條積極在煤礦推廣機電、運輸安全生產新技術、新設備,開展安全生產科研攻關。分管業務范圍內安裝、檢修工程、工作的現場專盯指導。

第9條嚴格履行公司《本質安全型礦井管理條例》規定的其它安全生產職責。

二、責任追究

第10條有下列行為之一的,給予機電科工程師警告處分;造成嚴重后果,構成犯罪的,依法追究刑事責任:

(一)違章指揮工人或者強令工人違章、冒險作業的;

(二)對工人屢次違章作業熟視無睹,不加制止的;

(三)對重大事故預兆或者已發現的事故隱患不及時采取措施的;

(四)拒不執行煤礦安全監察機構及其煤礦安全監察人員的安全監察指令的。

第11條煤礦發生事故,有下列情形之一的,依法給予機電科工程師解聘直到開除的紀律處分;構成犯罪的,依法追究刑事責任:

(一)不按照規定及時、如實報告煤礦事故的;

(二)偽造、故意破壞煤礦事故現場的;

(三)阻礙、干涉煤礦事故調查工作,拒絕接受調查取證、提供有關情況和資料的。

第12條編制的機電、運輸專業安全技術措施以及供配電相關設計出現明顯技術失誤的,機電科工程師負直接責任。

第13條未及時組織分工范圍內的重大事故隱患排查、對治理未進行監督的,機電科工程師負重要責任。

第14條未根據實際情況及時分析煤礦機電技術管理狀況,向機電科長提出具體意見的,機電科工程師負直接責任。

第15條在機電科技術管理工作中未遵守國家有關安全生產的法律、法規、規章、標準和技術規范,機電科工程師負直接責任。

第16條機電科工程師對煤礦機電、運輸設備、設施技術檔案的整理、管理工作負直接責任。

第17條未按規定經常深入現場,或未及時發現和解決現場的不安全隱患,機電科工程師負直接責任。

第18條對于上述負直接責任、主要責任、重要責任的,應根據情節嚴重程度按照有關法律、規定及公司《本質安全型礦井管理條例》給予行政處分、經濟處罰、直至追究刑事責任。

篇3:機電科工程師設備采購維修安全生產責任制

一、崗位責任

第1條參加機電設備檢查,并協助機電設備管理員進行設備管理。

第2條對分管業務范圍內的機電安全工作的重點進行技術把關,對機電設備的選型、進貨質量的驗收等進行技術把關。

第3條負責公司礦制度規定需機電科采購的設備的考察、招標文件的起草并牽頭起草相關技術要求、組織相關設備的招標。

第4條負責礦所有機電設備外委維修的市場調研、招標組織、合同及技術文件的簽訂、維修質量跟蹤。

第5條負責機電科所有合同、技術協議的管理。

第6條負責相關業務范圍內的發票掛帳、付款等業務。

第7條經常深入現場了解設備維修使用狀況,掌握維修供貨質量信息及時反饋領導參考。

第8條積極在煤礦推廣機電、運輸安全生產新技術、新設備,開展安全生產科研攻關。

第9條分管業務范圍內安裝、檢修工程、工作的現場專盯指導。

第10條嚴格履行公司《本質安全型礦井管理條例》規定的其它安全生產職責。

二、責任追究

第11條有下列行為之一的,給予機電科工程師警告處分;造成嚴重后果,構成犯罪的,依法追究刑事責任:

一、違章指揮工人或者強令工人違章、冒險作業的;

二、對工人屢次違章作業熟視無睹,不加制止的;

三、對重大事故預兆或者已發現的事故隱患不及時采取措施的;

四、拒不執行煤礦安全監察機構及其煤礦安全監察人員的安全監察指令的。

第12條煤礦發生事故,有下列情形之一的,依法給予機電科工程師解聘直到開除的紀律處分;構成犯罪的,依法追究刑事責任:

一、不按照規定及時、如實報告煤礦事故的;

二、偽造、故意破壞煤礦事故現場的;

三、阻礙、干涉煤礦事故調查工作,拒絕接受調查取證、提供有關情況和資料的。

第13條編制的機電、運輸專業安全技術措施以及供配電相關設計出現明顯技術失誤的,機電科工程師負直接責任。

第14條未及時組織分工范圍內的重大事故隱患排查、對治理未進行監督的,機電科工程師負重要責任。

第15條未根據實際情況及時分析煤礦機電技術管理狀況,向機電科長提出具體意見的,機電科工程師負直接責任。

第16條在機電科技術管理工作中未遵守國家有關安全生產的法律、法規、規章、標準和技術規范,機電科工程師負直接責任。

第17條機電科工程師對煤礦機電、運輸設備、設施技術檔案的整理、管理工作負直接責任。

第18條未按規定經常深入現場,或未及時發現和解決現場的不安全隱患,機電科工程師負直接責任。

第19條對于上述負直接責任、主要責任、重要責任的,應根據情節嚴重程度按照有關法律、規定給予行政處分、經濟處罰、追究刑事責任。