無塵車間潔凈度定期檢測制度(測量標準)

1為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求,必須定期對潔凈室內的潔凈度進行檢測。

2檢測測試設備:激光粒子記數器

3檢測周期:每周一上午、下午對各潔凈區域進行一次檢測

4檢測條件:靜態潔凈度測試

5數據收集整理:將每次檢測的結果輸入監控室的電腦中儲存,并在每個季度末(或下季度初)給各部門發該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門。

6各潔凈區域潔凈級別標準:按照《半導體公司能源管理標準》要求執行。

區域、系統名稱

潔凈等級標準

相當于ISO級別

等效于GB級別

K-1系統劃片區域

靜態1萬級

K-1系統改造前為靜態10萬級

CLASS7

CLASS8

CLASS7

CLASS8

K-2系統包封區域

靜態30萬級

CLASS8.3

CLASS8.3

K-3系統搪錫區域

靜態30萬級

CLASS8.3

CLASS8.3

K-4系統測試區域

靜態30萬級

CLASS8.3

CLASS8.3

K-8系統電鍍區域

靜態30萬級

CLASS8.3

CLASS8.3

現有其他空調系統

舒適性空調系統,無潔凈要求

NotApplicable

NotApplicable

7潔凈室用凈化空調系統及設備的維護管理與相應的操作規程、維修制度等(包括凈化空調系統和潔凈室相關的公用動力系統的設備、管線等管理維護,如,空氣過濾器、空調機、局部凈化設備、冷凍機及水泵、純水設備、配電設備、安全報警設施等)執行威世半導體(西安)有限公司廠務部相關SOP文件。

8參考文件

-FSD-SOP-01《供電操作指導書及規范制度》

-FSD-SOP-4-1《AHU系統操作指導書》

-FSD-SOP-4--《洗氣塔操作指導書》

-FSD-SOP-4-3《鍋爐操作指導書》

-FSD-SOP-4-4《制冷機操作指導書》

-FSD-SOP-06《廠務部安全操作規程》

-FSD-SOP-07《設備維護保養流程》

-FSD-SOP-08《消防系統操作指導書》

-FSD-SOP-1-《廠務部運行管理制度》

-FSD-SOP-13《市政動力能源中斷緊急應變計劃》

-FSD-SOP-20《廠務核心機組應急切換操作指導書》

-ATD1210C《能源管理標準》

-JVP1301C《公共設施管理規定》

收銀制度

篇2:無塵車間潔凈室清潔清掃滅菌管理制度

無塵車間潔凈室清潔、清掃和滅菌管理制度

1潔凈車間及潔凈車間走廊清潔操作程序見下表:

1-(A)潔凈車間清潔操作程序

工具

吸塵器、防靜電塵推、長軟管、小毛刷、簸箕、

防靜電塵推布頭、伸縮桿、梯子、防靜電去塵布

耗材

防靜電去塵劑、防靜電清潔劑。

清潔部位

1、車間墻;

2、門窗、文件柜、地面

具體操作方法

1、用伸縮桿配合去塵布,自上而下,進行墻體清潔,對污染較重的局部用去塵布沾取少量純防靜電清潔劑擦,用去塵布揩拭干凈。

2、用伸縮桿不方便的局部,應用梯子按同上的操作方法清潔墻面(如柜子的上方)。

3、墻面清潔完畢后,用吸塵器加軟管吸取車間地面的粉塵,吸塵器應置車間的走廊上,軟管進車間,吸塵扒頭應從左到右,先遠后近的區域進行吸塵,吸塵的區域不能有間隔,以免漏吸(換鞋套)。

4、吸塵完畢后,用塵推按照吸塵的操作方法進行,局部污染較重的地方應用去塵布沾取少量純防靜電去塵劑,用濕去塵布清潔,然后用干防靜電去塵布揩干。

5、門窗內側、柜子等附件的清潔用去塵布配合防靜電清潔劑先上后下進行清理。

6、整理工具,定期將吸塵器塵袋更換(地點:車間外)。

7、車間內須回收的廢料放置在防靜電車上,從車間西門運至成品庫門口(通知外圍保潔員接應),并分類集中至成品庫內。

8、車間垃圾具體清理程序見后附文件。

備注:以上所用工具及耗材均應符合威世公司要求規定。

1-(B)潔凈車間走廊操作程序

工具

防靜電塵推、擦地機、吸水器、長軟管、掃帚、梯子、防靜電去塵布、防靜電塵推布頭

耗材

防靜電蠟、防靜電清潔劑、防靜電去塵劑

清潔部位

1、墻面;2、門窗;3、消防設施;4、地面

具體操作方法

1、A)用伸縮桿配合去塵布,自上而下,由左向右,進行墻體清潔,對污染較重的局部用純防靜電清潔劑,用去塵布揩拭干凈。

B)用伸縮桿不方便的局部,應用梯子按同上的操作方法清潔墻面;對于石膏墻墻體用吸塵器自上而下吸取浮塵。

2、用去潮塵布配合防靜電清潔劑先上后下,由左至右進行清理。

3、用無塵布由上側、外側及內面全部擦拭干凈,整理好消防設備并檢查有無損壞,完好后把門關閉;

4、用防靜電塵推由一側,依次推塵清潔。

打蠟程序

用起蠟水先行起蠟,用吸水機吸凈殘蠟,用清潔拖布脫水后拖凈地面,等地面徹底風干,再打防靜電地板蠟(具體方法和步驟詳見2條)。

備注:以上所用工具及耗材均應符合公司要求規定。正在清潔的區域應設置標志牌,且清潔工作不得與威世員工的正常工作沖突。

2地面打蠟的方法和程序

2.1需要準備的機器和工具、清潔劑:

t洗地機;吸塵吸水機;拋光機;大面積作業需配備自動洗地機

t拖把、蠟拖、拖把扭干器、水推

t除蠟劑、中性多功能清潔劑

t除蠟墊(黑色)、清潔墊(紅色、白色)、拋光墊(白色)

2.2如果地面已經打過蠟,且蠟面已失去光澤或者已經磨損出現斑駁和脫落,在打蠟前就需要對潔凈室地面先進行除蠟。

除蠟的方法及流程如下:

用拖把將除蠟劑均勻涂在蠟的表面,作用5分鐘后看到乳白色泡沫越來越多,就可以用裝有除蠟墊的洗地機清洗地面

→用洗地機清洗地面直至看不到蠟層,如果蠟層較厚,一次可能除不干凈,需要再用除蠟劑除第二次,用吸水機將水吸干

→用拖把和清水將地面拖試干凈,一定要多拖拭幾遍,確保地面不再含有除蠟劑的殘液,以免影響重新打蠟的效果

2.3如果地面沒有打過蠟,可直接用兌有多功能清潔劑的溶液(按1:40的比例添加),用裝有洗地墊的洗地機清洗地面,然后將地面拖拭干凈,待地面完全干燥后開始打蠟。

2.4打蠟的程序

準備:

將適量的封地蠟倒入拖把扭干器中,將蠟拖用水濕潤并扭干。

→按照由邊向內由里而外的原則,讓蠟拖按∞形運行,注意蠟拖每次沾蠟不可太多也不可太少,均勻涂抹,不要漏抹。

→30分鐘后確認安全干燥后再按同樣的做法打面蠟2遍。干燥的標準:不沾手,不粘腳。

→完全干燥后可進入拋光的程序:應選擇轉速1500轉以上的拋光機和20#白色拋光墊進行拋光,拋光時要慢慢運行,拋光后此時的亮度沒有達到最亮,24小時后再做一次拋光其亮度可達到90。

3潔凈車間垃圾清理程序

3.1保潔人員在外運潔凈區內的垃圾前,通知保安人員,在保安人員的監督下實施將潔凈區內的垃圾外運的操作。

3.2車間內的保潔員從車間內把裝有廢料的垃圾桶放置專用防靜電車,從車間西門運至原材料庫門口。

3.3將廢料傾倒至原材料庫門口的臨時垃圾站的垃圾桶內。

3.4通知外圍保潔員接應。(注:每天早上8點清倒一次,下午4點清倒一次)

3.5外圍保潔員將車間內的垃圾桶拉出原材料庫內側門,將垃圾清倒入已準備好的周轉垃圾桶內。

3.6車間內的垃圾桶重新進入車間內,必須清潔干凈后(包括垃圾桶底部車輪),再放回指定位置。

3.7外圍保潔員把周轉垃圾桶運至車間外的垃圾站進行清理。

3.8潔凈車間垃圾清理注意事項

&需傾倒垃圾時,原材料庫內門與外門不能同時打開。

&外圍人員不能進入車間,車間人員不能走出室外。

&車子不能里外穿行,只能倒運車箱。

4潔凈室清潔、清掃和滅菌管理制度參考文件:

負責清潔服務的部門,應根據公司實際情況制定清潔服務計劃,明確具體的清潔內容、周期、頻次以及對應質量標準。本文件未作細節描述處,可執行文件《FSD-SOP-19清潔服務內容及質量標準》及《FSD-SOP-21清潔工作化學用品管理規定》要求。

5.7潔凈室潔凈室安全管理

潔凈室安全管理,已經包括在《FSD-SOP-8-2消防火警處理規程》內,需要嚴格執行。

篇3:無塵車間潔凈室物流室內設備工器具管理制度

無塵車間潔凈室物流、室內設備及工器具管理制度

1物流管理包括:進入潔凈室的物料準入制度,物料的清理和清掃規定、廢棄物管理制度等。

1.1為防止污染物帶入潔凈室(區),所有送入潔凈室(區)的各種物料、原輔料、設備、工器具包裝材料等均需按要求進行外包裝清理、吹凈,有效地清除外表面的微粒。

1.2在潔凈廠房內根據空氣潔凈度等級、產品生產的要求設置必要的物料凈化設施,包括外包裝清理室,氣閘室或傳遞窗(柜)等。

1.3物料在外包裝清理室拆除外包裝、裝入潔凈容器內或當外包裝不能拆除時,對其擦拭清除塵土或采用其他清除污染物的方式對設備、容器工具進行清潔處理,并使清理前后的物料以一定標志予以區別。

1.4潔凈區域的專用周轉小車、周轉盒必須有清晰的標志,與非潔凈周轉小車有明顯的區分標識,禁止混用。

1.5對清理外包裝后的物料應經過氣閘室或傳遞窗(柜)才能進入潔凈室(區),氣閘室或傳遞窗(柜)的作用與人員凈化用氣閘室相似,用于保持潔凈室的空氣潔凈度和潔凈室內必須的壓力。

1.6傳遞窗(柜)應滿足如下要求。兩側門上設窗,能看見內部和兩側;確保兩側門不能同時開啟(可通過兩側門上設連鎖裝置或通過嚴格管理來實現);傳遞窗內尺寸可適應搬運物料的大小及重量,氣密性好并有必要的強度;根據用途的不同可設置室內燈、殺菌設施。

2潔凈室內設備及工器具管理包括:設備及工器具的搬入管理,清掃和清潔規定,設備及工器具的退出管理等。

2.1工藝設備進入潔凈區域前,應事先明確運輸路線,清除設備運輸通道上的障礙物,包括對活動潔凈圍護板的拆卸,并作好隔離防護措施,盡可能避免破壞潔凈區域的環境;若設備搬入可能對生產造成污染,應提前安排局部停產配合設備搬入。

2.2隔離防護的設施必須確保嚴密可靠,能夠有效控制污染物的擴散,并注意監控其完好狀態,若有破損,及時修補使嚴密完好。

2.3設備進入潔凈區域前,必須先在緩沖區(或緩沖地帶)進行徹底的清潔和擦拭。

2.4在進行設備、材料搬運的過程中,要嚴格進行潔凈控制,設備進車間前注意在潔凈緩沖區(或臨時緩沖走廊)的相關清潔工作。尤其注意不得穿潔凈服經設備、材料通道門到戶外,如此經過交叉污染過的衣服、鞋套、帽子再次無任何措施又進入潔凈室,會造成潔凈室交叉污染。

2.5在設備、材料搬運期間應盡可能避免讓步接受可能出現的環境擾動,對人員、設備、材料凈化管制應嚴格進行控制。一定要嚴格控制污染物擴散,尤其是交叉污染的現象,否則會有高效過濾器(HEPA)的污染損失,以及額外的潔凈清理費用。

2.6如下圖所示,在潔凈室批準入口處設置潔凈緩沖/管制間,任何進入潔凈室內的物品必須經過緩沖間。

2.7物品進入潔凈室的流程。

室外預清潔→傳入緩沖區→緩沖區內最終清潔→傳入潔凈室內

t首先,室外、緩沖間(或臨時緩沖走廊)、潔凈室內各有一支搬運組(共三組)候命,這三組人員根據各自的環境身著不同的服裝:室外身著普通工作服,緩沖間內身著清潔的服裝并穿戴鞋套,潔凈室內身著完整的潔凈服,帶有口罩和手套等,這三組人互不能進入其它人的工作區域。

t當有設備、物品需要運輸時,首先室外組人員對物品進行預清潔,然后打開緩沖間室外側的門(或設備預留進出外門),將物品傳入緩沖區。必須保證,在打開緩沖間室外側門(或設備預留進出外門)時,潔凈室側的門處于關閉狀態。

t緩沖區(或臨時緩沖走廊)的那組人員對物品進行最終的清潔,并用干凈的潔凈布檢測合格后,打開潔凈室側的門,將物品傳入潔凈室內。如此才規范的完成了物品傳送和清潔的過程。

2.8設備搬入完成并就位后,立即清理設備區域的雜物、拆除隔離防護措施、恢復活動潔凈圍護板,并對設備搬入區域及附近區域進行徹底的清掃和清潔,使滿足潔凈。

2.9拆除隔離防護措施應注意控制避免交叉污染,恢復活動潔凈圍護板應保證圍護結構的密閉性,密封壓條要保證有效密封,膠密縫應恢復嚴密平整。

2.10小型工器具搬入管理需要滿足物流管理要求。

2.11大型工器具搬入管理可參照工藝設備搬入管理要求執行。

2.12設備本身的清掃和清潔由生產部門及保養部門進行規定的編制及執行,但其可靠性必須滿足潔凈要求。

2.13設備和大型工器具的退出與搬入管理類似,也應事先明確運輸路線,清除設備運輸通道上的障礙物,包括對活動潔凈圍護板的拆卸,并作好隔離防護措施,盡可能避免破壞潔凈區域的環境;若設備退出可能對生產造成污染,應提前安排局部停產配合設備退出。

2.14設備和大型工器具退出后,立即清理設備區域的雜物、拆除臨時隔離防護措施、恢復活動潔凈圍護板,并對設備退出區域及附近區域進行徹底的清掃和清潔,使滿足潔凈。